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龙图腾网获悉电子科技大学;北京新风航天装备有限公司申请的专利一种基于功能电极层的温湿度传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115127594B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210749619.7，技术领域涉及：G01D5/12；该发明授权一种基于功能电极层的温湿度传感器及其制备方法是由乔琳倩;吕秀梅;张自强;武颖杰;涂程;张晓升设计研发完成，并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于功能电极层的温湿度传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于射频微机电系统技术领域，提供一种基于功能电极层的温湿度传感器及其制备方法，用以解决现有器件存在的体积大、良品率低、检测信号弱等问题。本发明温湿度传感器包括：衬底与通过支撑梁悬空设置于衬底上的谐振体；采用开有刻蚀窗口的圆盘型谐振体，在压电薄膜层3的上、下表面分别设置功能电极层4、检测电极层2，功能电极接地，通过检测电极对谐振信号进行检测，分别通过频率信息与幅度信息实现温度与湿度传感；功能电极层与低声波损耗层的使用、检测电极层与功能电极层分隔设计以及刻蚀窗口都有效提升了器件的稳定性；并且，该温湿度传感器的制备方法具有工艺简单、可靠的优点，有利于实现高良品率的工业化生产。

本发明授权一种基于功能电极层的温湿度传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于功能电极层的温湿度传感器的制备方法，温湿度传感器包括：衬底与通过支撑梁悬空设置于衬底上的谐振体；其特征在于，所述谐振体为圆盘型，由低声波损耗层（1）、设置于低声波损耗层上方的检测电极层（2）、设置于检测电极层上方的压电薄膜层（3）、以及设置于压电薄膜层上的功能电极层（4）构成；所述检测电极层由对称设置的劣弓形输入电极与劣弓形输出电极构成；所述谐振体中开设有若干个刻蚀窗口（5），所述刻蚀窗口呈圆环阵列分布或方形阵列分布、且阵列中心均位于谐振体中心处，所述刻蚀窗口于功能电极层下方贯穿至空气腔； 所述基于功能电极层的温湿度传感器由以下步骤制备： S1：清洁衬底； S2：通过光刻工艺和反应离子刻蚀（RIE）工艺在衬底中刻蚀形成空气腔； S3：通过薄膜淀积工艺在空气腔中填充牺牲层，并通过化学机械抛光（CMP）工艺整平衬底上表面； S4：通过键合方法制备低声波损耗层覆盖器件上表面； S5：通过剥离（Lift-off）工艺和金属薄膜溅射工艺在低声波损耗层上表面制备图形化的检测电极层、金属焊盘与金属连接线，检测电极层位于牺牲层的正上方； S6：通过薄膜淀积工艺制备压电薄膜层覆盖检测电极层； S7：通过光刻工艺和反应离子刻蚀（RIE）工艺在低声波损耗层、检测电极层与压电薄膜层的预设位置开设刻蚀窗口； S8：通过刻蚀窗口注入刻蚀剂，去除空气腔中的牺牲层； S9：通过化学气相沉积（CVD）法制备石墨烯薄膜、硅烯薄膜或二硫化钼薄膜于金属基底上，并使用干法转移将金属基底上的薄膜转移至压电薄膜层上表面，作为功能电极层。

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