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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利夹持机构及电化学沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115287735B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211016571.5，技术领域涉及：C25D17/06；该发明授权夹持机构及电化学沉积设备是由祝福生;魏红军;夏楠君;胡天水;刘凯文设计研发完成，并于2022-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本夹持机构及电化学沉积设备在说明书摘要公布了：一种夹持机构及电化学沉积设备，涉及晶圆电化学沉积技术领域。该夹持机构包括摆动夹持组件、盖体组件、传动组件和驱动组件；所述驱动组件设置在盖体组件上，且驱动组件通过传动组件驱动连接摆动夹持组件，以使摆动夹持组件在夹持状态与松开状态之间切换；盖体组件内部设置有盖体腔室；传动组件位于盖体腔室内；摆动夹持组件的一部分位于盖体腔室内，另一部分伸出盖体腔室；摆动夹持组件包括密封盖体腔室的密封膜片。该电化学沉积设备包括夹持机构。本发明的目的在于提供一种夹持机构及电化学沉积设备，以在一定程度上解决现有技术中存在的密封圈磨损快、寿命短，以及夹持结构易导致晶片损伤的技术问题。

本发明授权夹持机构及电化学沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种夹持机构，其特征在于，包括摆动夹持组件100、盖体组件200、传动组件300和驱动组件500； 所述驱动组件500设置在所述盖体组件200上，且所述驱动组件500通过所述传动组件300驱动连接所述摆动夹持组件100，以使所述摆动夹持组件100在夹持状态与松开状态之间切换； 所述盖体组件200内部设置有盖体腔室；所述传动组件300位于所述盖体腔室内； 所述摆动夹持组件100的一部分位于所述盖体腔室内，另一部分伸出所述盖体腔室；所述摆动夹持组件100包括密封所述盖体腔室的密封膜片140； 所述摆动夹持组件100还包括夹持杆110、支座150和摆杆160； 所述支座150与所述盖体组件200固定连接，所述摆杆160枢接在所述支座150上，且所述传动组件300与所述摆杆160连接； 所述密封膜片140包括密封膜部141和固定设置在所述密封膜部141中心的密封连接柱部142； 所述密封膜部141与所述盖体组件200密封连接，以密封所述盖体腔室； 所述密封连接柱部142的顶部与所述摆杆160固定连接，所述密封连接柱部142的底部与所述夹持杆110固定连接；所述密封连接柱部142与所述传动组件300呈夹角设置。

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