北京北方华创微电子装备有限公司张汉石获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115421419B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211058110.4，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备是由张汉石;沈浩;王伟设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备。上电极搭头处理电路包括第一控制开关和搭头检测电路。第一控制开关串接于第一供电支路与驱动装置之间；搭头检测电路在检测到上电极发生搭头现象时，控制第一控制开关闭合，以使第一供电支路向驱动装置供电，驱动装置带动上电极下降，使上电极回落到反应腔上。可见，本申请在开盖机构提升上电极时，可检测上电极是否发生搭头现象，并在上电极发生搭头现象时，将原有的上电极提升动作自动转换为上电极下降动作，使上电极回落到反应腔上，从而及时发现上电极发生搭头现象并处理，避免上电极的四个边角的悬垂量差距过大引发一系列问题，保证设备开盖过程的安全可靠。
本发明授权一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种上电极搭头处理电路，应用于半导体设备，所述半导体设备包括上电极、反应腔及开盖机构；所述开盖机构包括用于带动所述上电极上升或下降的驱动装置，其特征在于，所述上电极搭头处理电路包括： 第一控制开关，串接于第一供电支路与所述驱动装置之间，当所述第一控制开关闭合时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电； 搭头检测电路，用于控制所述第一控制开关的通断，所述搭头检测电路在检测到所述上电极发生搭头现象时，控制所述第一控制开关闭合，以使所述第一供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极下降，使所述上电极回落到所述反应腔上。
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