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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于建立基于物理的模型的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117546170B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280043787.2，技术领域涉及：G06F30/398；该发明授权用于建立基于物理的模型的系统及方法是由C·于阿尔;P·潘内尔切万;G·帕尔赛;A·A·阿加瓦尔设计研发完成，并于2022-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于建立基于物理的模型的系统及方法在说明书摘要公布了：提供用于建立基于物理的模型的系统及方法。一种系统包含一或多个组件，其由一或多个计算机子系统执行且包含描述半导体制造相关过程的基于物理的模型及经配置用于在多个阶段中建立所述基于物理的模型的建立组件，在所述多个阶段中的每一者中仅建立所述基于物理的模型的全部参数的子集。基于在所述多个阶段中的至少两者中建立的所述基于物理的模型的全部所述参数的所述子集，在所述多个阶段中的所述至少两者之间改变所述建立组件的配置。所述建立组件可使用多个信息源及目标函数来执行用于级联模型的建立或校准的贝叶斯Bayesian优化技术。

本发明授权用于建立基于物理的模型的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种经配置以建立基于物理的模型的系统，其包括： 一或多个计算机子系统；及 一或多个组件，其由所述一或多个计算机子系统执行，其中所述一或多个组件包括描述半导体制造相关过程的基于物理的模型及建立组件，其中所述建立组件包括： 目标函数，其经配置用于将由所述基于物理的模型用所述基于物理的模型的一或多个参数的不同值产生的结果与参考数据比较且用于产生响应于所述结果与所述参考数据之间的差异的输出； 代替函数，其经配置为所述目标函数的近似且拟合到由所述目标函数依据所述一或多个参数的所述不同值产生的所述输出；及 获取函数，其经配置用于基于所述代替函数为所述基于物理的模型选择所述一或多个参数的额外值；且 其中所述建立组件经配置用于在多个阶段中建立所述基于物理的模型，在所述多个阶段中的每一者中，仅建立所述基于物理的模型的全部所述一或多个参数的子集； 其中基于在所述多个阶段中的至少两者中建立的所述基于物理的模型的全部所述一或多个参数的所述子集，在所述多个阶段中的所述至少两者之间改变所述建立组件的配置； 其中在所述多个阶段中的至少一者中使用的所述目标函数及所述代替函数在所述多个阶段的后续阶段中分别用不同目标函数及不同代替函数替换；且 其中在所述多个阶段中的所述至少一者中的一或多个中使用的所述获取函数在所述多个阶段的所述后续阶段中用不同获取函数替换，且其中所述不同获取函数对所述代替函数及所述不同代替函数采样以选择所述额外值。

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