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江南大学刘诚获国家专利权

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龙图腾网获悉江南大学申请的专利双波长面型测量仪及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115597522B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211267558.7,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权双波长面型测量仪及测量方法是由刘诚;严一彰;蒋志龙设计研发完成,并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

双波长面型测量仪及测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种双波长面型测量仪及测量方法,属于干涉测量技术领域。该测量仪包括第一激光光源和第二激光光源,在所述第一激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第一衰减器、第一反射镜、第一空间滤波器、第一扩束准直器、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第二分光棱镜,作为参考光路;在所述第二激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第二衰减器、第二空间滤波器、第二扩束准直器和第二分光棱镜,作为物光路。本发明测量精度高,测量速度快,是一种非接触式测量方法,对测量物体不会有任何损害;由于是双波长产生的合成波长,当两个波长相差较小时可以增大被测物体的可测尺寸,具有测量范围更广的优势。

本发明授权双波长面型测量仪及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种双波长面型测量方法,所述双波长面型测量方法应用一种双波长面型测量仪进行测量,其特征在于,所述双波长面型测量仪包括第一激光光源和第二激光光源,在所述第一激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第一衰减器、第一反射镜、第一空间滤波器、第一扩束准直器、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第二分光棱镜,作为参考光路;在所述第二激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第二衰减器、第二空间滤波器、第二扩束准直器和第二分光棱镜,作为物光路; 所述第一空间滤波器包括第一物镜和第一针孔,所述第一扩束准直器包括第一透镜,所述第二空间滤波器包括第二物镜和第二针孔,所述第二扩束准直器包括第二透镜,所述第一针孔和第二针孔分别位于所述第一物镜和第二物镜的后焦面处,所述第一针孔和第二针孔用于过滤高频噪声,所述第一透镜和第二透镜用于扩束准直变成平行光射出; 还包括第三透镜和电荷耦合器件,所述物光路通过第二分光棱镜照射在待测物体上,激光光束经过待测物体反射回第二分光棱镜并与所述参考光路干涉,通过第三透镜成像在电荷耦合器件上; 所述双波长面型测量方法包括如下步骤: 步骤一:只打开第一激光光源,在第二透镜和第二分光棱镜之间放置纸板挡住物光路,调节第一衰减器到光强不过曝的位置,通过电荷耦合器件采集参考光强度记为IR1; 步骤二:只打开第一激光光源,在第二反射镜和第三反射镜之间放置纸板挡住参考光路,调节第二衰减器到与参考光强相同的位置,通过电荷耦合器件采集物光强度记为IO1; 步骤三:只打开第一激光光源,去掉纸板,通过电荷耦合器件直接采集干涉图像记为Iλ11; 步骤四:只打开第二激光光源,在第二透镜和第二分光棱镜之间放置纸板挡住物光路,调节第一衰减器到光强不过曝的位置,通过电荷耦合器件采集参考光强度记为IR2; 步骤五:只打开第二激光光源,在第二反射镜和第三反射镜之间放置纸板挡住参考光路,调节第二衰减器到与参考光强相同的位置,通过电荷耦合器件采集物光强度记为IO2; 步骤六:只打开第二激光光源,去掉纸板,通过电荷耦合器件直接采集干涉图像记为Iλ22; 步骤七:根据步骤一到六采集到的图像计算包含待测物体信息的干涉条纹强度分布I; 步骤八:根据步骤七计算得到的待测物体信息的干涉条纹强度分布I计算待测物体的高度差h。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江南大学,其通讯地址为:214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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