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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种基于多线切割的双晶棒摆动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115582920B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211294875.8，技术领域涉及：B28D5/04；该发明授权一种基于多线切割的双晶棒摆动机构是由闫芸;陶利权;汤明;靳永吉设计研发完成，并于2022-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于多线切割的双晶棒摆动机构在说明书摘要公布了：本发明涉及多线切割技术领域，具体而言，涉及一种基于多线切割的双晶棒摆动机构，包括两个相互平行设置于水平面的转轴，两个转轴的轴线方向均为前后方向，侧视基准面与水平面相垂直，还包括带动两个转轴相向转动的摆杆单元，摆杆单元包括三级连杆单元和驱动电机，驱动电机与三级连杆单元连接，三级连杆单元与两个转轴连接，两个转轴上均用于安装晶棒单元；通过一个驱动电机进行连续旋转，再通过三级连杆单元传递动力，带动2根转轴相向往复于限定角度内摆动，进而使固定于2根转轴上的2套晶棒单元随摆，实现了一种供料系统中双晶棒的摆料方式，通过一个驱动电机实现双晶棒同时切割，从而能够提高切割效率。

本发明授权一种基于多线切割的双晶棒摆动机构在权利要求书中公布了：1.一种基于多线切割的双晶棒摆动机构，包括两个相互平行设置于水平面的转轴113，两个所述转轴113的轴线方向均为前后方向，两个所述转轴113对称设置于侧视基准面3的左侧和右侧，侧视基准面3与水平面相垂直，其特征在于，还包括带动两个所述转轴113相向转动的摆杆单元1，所述摆杆单元1包括三级连杆单元和驱动电机105，所述驱动电机105与所述三级连杆单元连接，所述三级连杆单元与两个所述转轴113连接，两个所述转轴113上均用于安装晶棒单元2，所述驱动电机105能够驱动所述三级连杆单元以带动两个所述转轴113的相向转动，进而带动两个晶棒单元2的相对摆动； 所述三级连杆单元包括沿前后方向依次设置的导向杆103、第二传动杆108、第一传动杆107和驱动杆106，所述第一传动杆107后侧面开设有第一滑槽1071，所述第一传动杆107的前侧面开设有第二滑槽1072，所述第二传动杆108沿前后方向开设贯穿的第三滑槽1081，所述导向杆103沿前后方向开设贯穿的导向槽1031； 所述三级连杆单元还包括驱动轴112和传动轴109，所述驱动电机105的输出轴与所述驱动杆106的左端连接，所述驱动电机105用于驱动所述三级连杆单元及两个所述转轴113的运动以带动两个所述晶棒单元2相对摆动； 所述驱动杆106的右端与所述驱动轴112的一端固定连接，所述驱动轴112的另一端与所述第一滑槽1071滑动连接，所述第一传动杆107的左端与左侧的转轴113固定连接，所述传动轴109依次穿设于所述第二滑槽1072、所述第三滑槽1081和所述导向槽1031并与其滑动连接，所述驱动轴112和所述传动轴109的轴向始终为前后方向。

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