上海治臻新能源股份有限公司黎焕明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海治臻新能源股份有限公司申请的专利一种溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115928029B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211490804.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备是由黎焕明;毕飞飞;李骁博;姜天豪;胡鹏;蓝树槐设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备，溅射沉积组件包括：屏蔽罩；溅射阴极，所述溅射阴极位于所述屏蔽罩内，所述溅射阴极包括靶材和磁体组；电极板组，所述电极板组位于所述屏蔽罩内，所述电极板组包括位于所述溅射沉积组件的等离子体两侧的两个电极板和交流电源，所述电极板与交流电源电连接，所述等离子体的离子和电子在所述电极板产生的交流电场中振荡，且所述电极板能够吸收运动至所述电极板表面的电子。相比于现有技术，本发明的真空沉积设备能够实现复合集流体表面涂层的低温高效制备，对于复合集流体的大面积推广具有重要意义。
本发明授权一种溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种溅射沉积组件，其特征在于，所述溅射沉积组件包括： 屏蔽罩； 溅射阴极，所述溅射阴极位于所述屏蔽罩内，所述溅射阴极包括靶材和磁体组，所述溅射阴极用于形成等离子体； 电极板组，所述电极板组位于所述屏蔽罩内，所述电极板组包括位于所述等离子体两侧的两个电极板和交流电源，所述电极板与交流电源电连接，所述等离子体的离子和电子在所述电极板产生的交流电场中振荡，且所述电极板能够吸收运动至所述电极板表面的电子； 所述靶材为圆柱形，且所述靶材内部设置有至少两组所述磁体组，所述磁体组相对于所述靶材的中心对称，且所述磁体组产生非平衡磁场； 所述等离子体的电子的振荡半径为r，离子的振荡半径R，所述电极板组中所述电极板之间的间距为L，所述靶材的个数为n，满足rL和RL4n。
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