江苏微导纳米科技股份有限公司康旭获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利喷淋板及处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116240525B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211612666.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权喷淋板及处理装置是由康旭;严大;施述鹏设计研发完成，并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋板及处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种喷淋板及处理装置，喷淋板包括板体，板体内形成有气体分配系统。气体分配系统包括主进气通道、过渡通道及喷淋通道。工艺气体先由主进气通道进入板体的内部，再经过过渡通道中转后进入喷淋通道，最终由喷淋孔从出气面导入处理腔体内。过渡通道能够起到缓冲作用，避免喷淋通道内的气压直接受到主进气通道内气压波动的影响，故喷淋通道内的气压能够保持较好的一致性。因此，经过过渡通道中转后，从出气面的各区域喷出的气流量也更均衡，从而能够提升工艺气体在处理腔体内分布的均匀性。此外，本发明还提供一种喷淋方法。
本发明授权喷淋板及处理装置在权利要求书中公布了：1.一种喷淋板，包括具有出气面的板体，所述板体内形成有气体分配系统，其特征在于，所述气体分配系统包括主进气通道、过渡通道及喷淋通道，所述喷淋通道沿其延伸方向形成有多个延伸至所述出气面的喷淋孔，且所述喷淋通道通过所述过渡通道与所述主进气通道连通； 所述过渡通道及所述喷淋通道均设置有多个，且多个所述过渡通道及所述喷淋通道一一对应，每个所述喷淋通道均通过多个连接通道与对应的过渡通道连通，多个所述连接通道沿所述喷淋通道的延伸方向间隔分布，所述主进气通道依次与多个所述过渡通道连通；每个所述喷淋通道呈长条形并沿第一方向延伸，且多个所述喷淋通道沿垂直于所述第一方向的第二方向间隔设置； 所述主进气通道包括导入通道、沿所述第一方向延伸的分流通道及两个沿所述第二方向延伸的导出通道，所述导入通道与所述分流通道的中部连通，两个所述导出通道分别与所述分流通道的两端连通，且其中一个所述导出通道依次与多个所述过渡通道的一端连通，另一个所述导出通道依次与多个所述过渡通道的另一端连通。
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