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依迈微(北京)科技有限公司裘进获国家专利权

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龙图腾网获悉依迈微(北京)科技有限公司申请的专利微电子机械系统陀螺仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116222531B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310362154.4,技术领域涉及:G01C19/5656;该发明授权微电子机械系统陀螺仪是由裘进;杨云春设计研发完成,并于2023-04-06向国家知识产权局提交的专利申请。

微电子机械系统陀螺仪在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪,属于传感器技术领域。陀螺仪包括:基底、质量块组、驱动组件和检测组件;质量块组包括四个驱动质量块、锚点结构、耦合弹性梁和多个Z轴检测质量块,四个驱动质量块以中心对称的方式通过锚点结构悬挂于基底上,且四个驱动质量块之间通过耦合弹性梁连接;每个驱动质量块上均设有Z轴检测质量块。其中,在驱动模态下,相邻两个驱动质量块的驱动模态反相,在X轴、Y轴和Z轴三轴的检测模态均能实现反相振动,因此,可以达到机械差分效果,有效减小外界振动和冲击等因素对陀螺性能的影响,提升抗振特性,从而提高陀螺仪的检测精度和稳定性。

本发明授权微电子机械系统陀螺仪在权利要求书中公布了:1.一种微电子机械系统陀螺仪,其特征在于,包括: 基底; 质量块组,所述质量块组包括四个驱动质量块、锚点结构、耦合弹性梁和多个Z轴检测质量块,所述四个驱动质量块以中心对称的方式通过所述锚点结构悬挂于所述基底上,且所述四个驱动质量块之间通过所述耦合弹性梁连接;每个所述驱动质量块上均设有所述Z轴检测质量块,相邻两个所述驱动质量块上的所述Z轴检测质量块之间通过第一连接梁连接; 驱动组件,设置在所述驱动质量块上,用于驱动所述驱动质量块在X-Y轴平面内转动; 检测组件,设置在所述驱动质量块上,用于检测各个所述驱动质量块和各个所述Z轴检测质量块的位置变化,并将检测到的位置变化转换成电信号输出; 所述微电子机械系统陀螺仪具有驱动模态、X轴检测模态、Y轴检测模态和Z轴检测模态;在所述驱动模态下,相邻两个所述驱动质量块的驱动模态反相,在所述X轴检测模态和所述Y轴检测模态下,相邻两个所述驱动质量块的振动方向相反,在所述Z轴检测模态下,所述多个Z轴检测质量块在科里奥利力作用下沿顺时针方向或逆时针方向在所述X-Y轴平面内平动,或者所述多个Z轴检测质量块在所述科里奥利力作用下朝向所述微电子机械系统陀螺仪的中心轴做离心或向心运动; 其中,以所述基底的中心点为原点建立包含有X轴、Y轴、Z轴的三维空间坐标系,所述X轴、所述Y轴均与所述基底的端面相平行,所述Z轴与所述基底的端面相垂直; 所述质量块组包括第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块; 所述第一驱动质量块和所述第三驱动质量块关于X轴负方向轴对称布置,所述第二驱动质量块和所述第四驱动质量块关于X轴正方向轴对称布置;所述第一驱动质量块和所述第二驱动质量块关于Y轴正方向轴对称布置,所述第三驱动质量块和所述第四驱动质量块关于Y轴正方向轴对称布置;所述第一驱动质量块与所述第四驱动质量块中心对称布置;所述第三驱动质量块与所述第二驱动质量块中心对称布置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人依迈微(北京)科技有限公司,其通讯地址为:101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街53号院13号楼3层01-302-3室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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