安徽万维克林精密装备有限公司周尤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利高效率兼容型清洗机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116967168B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310677814.8,技术领域涉及:B08B9/28;该发明授权高效率兼容型清洗机是由周尤;许磊;姚华东;班恒生设计研发完成,并于2023-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本高效率兼容型清洗机在说明书摘要公布了:本发明公开了高效率兼容型清洗机,包括机体以及固定连接于机体背面的储水箱,所述机体内壁的两侧均固定连接有电动滑轨,且两个所述电动滑轨相对的一侧之间滑动连接有放置框,所述机体的顶部设置有表面冲洗机构,所述放置框的内部设置有狭缝清刷机构;所述狭缝清刷机构包括通过支撑件固定连接于放置框内部的固定框,本发明涉及清洗机技术领域。该高效率兼容型清洗机,通过表面冲洗机构和狭缝清刷机构的设置,能够对晶圆传送盒的内部以及表面进行彻底清洗,有效清除承载晶圆狭缝内部的污垢杂质,同时两组清理刷在一定范围内,能够根据传送盒的尺寸进行自适应调节,使其插入狭缝内部,无清洗死角,提高清洗效率。
本发明授权高效率兼容型清洗机在权利要求书中公布了:1.高效率兼容型清洗机,包括机体(1)以及固定连接于机体(1)背面的储水箱(2),其特征在于:所述机体(1)内壁的两侧均固定连接有电动滑轨(3),且两个所述电动滑轨(3)相对的一侧之间滑动连接有放置框(4),所述机体(1)的顶部设置有表面冲洗机构(5),所述放置框(4)的内部设置有狭缝清刷机构(6); 所述狭缝清刷机构(6)包括通过支撑件固定连接于放置框(4)内部的固定框(61),且固定框(61)的内部通过连接杆固定连接有出水柱(62),所述出水柱(62)的底端连通有出水伸缩管(63),所述放置框(4)的正面通过固定板固定连接有第一电机(64),且第一电机(64)输出轴的一端通过联轴器固定连接有螺纹杆(65),所述螺纹杆(65)的一端通过轴承与放置框(4)的正面转动连接,所述螺纹杆(65)的表面螺纹连接有滑动板(66),且滑动板(66)的两侧均固定连接有弹簧杆(67),两个所述弹簧杆(67)的一端均固定连接有L形活动板(68),所述放置框(4)和固定框(61)正面的两侧均开设有与L形活动板(68)相适配的通槽,所述L形活动板(68)位于固定框(61)内部的一侧固定连接有清理刷(69); 所述表面冲洗机构(5)包括固定连接于机体(1)顶部的电动推杆(51),且电动推杆(51)位于机体(1)内部的伸出端固定连接有喷洒器(52); 所述喷洒器(52)的顶部连通有进水伸缩管(53),所述进水伸缩管(53)的顶端贯穿机体(1)并延伸至机体(1)的顶部;电动推杆(51)的伸出端带动喷洒器(52)向机体(1)内部移动,直至喷洒器(52)底部与传送盒顶部接触从而对传送盒进行限位。
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