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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117060777B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310998321.4，技术领域涉及：H02N2/04；该发明授权基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法是由韩冬;乔广达;司钱欣;王晓冬;方璐;王东宇;侯博文;周济;龚国芳;杨华勇设计研发完成，并于2023-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法，其包括承载座、电磁驱动组件、压电驱动组件和底座组件；电磁驱动组件包括线圈单元和磁铁单元，压电驱动组件内设置有柔性机构，柔性机构内部具有空腔并安装有压电堆叠；压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动惯性块产生水平方向的位移。线圈单元质量较轻，本发明将其做为动子以提高整机的加速度及驱动速度。利用压电驱动组件不受电磁干扰的特性，一方面通过电磁力诱导辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动，另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时，又能保证其具备高精度定位。

本发明授权基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法在权利要求书中公布了：1.一种基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台，其特征在于包括：用于承载驱动目标的承载座（1）、电磁驱动组件（2）、压电驱动组件（3）和底座组件（4）；其中，压电驱动组件和底座组件均为由竖直面和水平面构成的L形结构，所述电磁驱动组件包括同轴设置的线圈单元（2-1）和磁铁单元（2-3），其中，线圈单元（2-1）套设在磁铁单元（2-3）内部，两者之间设置间隙，两者沿轴线方向可产生相对位移，其中磁铁单元固定连接在底座组件的竖直面上，线圈单元固定连接在压电驱动组件的竖直面上；所述压电驱动组件与承载座之间固定连接； 所述承载座上设置有磁铁单元避让槽（1-7）和线圈限位凸台（1-6）；所述磁铁单元设置在磁铁单元避让槽内，并与槽壁面间隙配合；所述磁铁单元与线圈限位凸台连接固定；所述底座组件的水平面上设置有导轨（4-3）和与导轨配合可相对导轨滑动的滑块（4-2），滑块与压电驱动组件（3）的水平面固定连接； 所述压电驱动组件（3）的水平面上开设有柔性机构形变避让槽（3-1-13），柔性机构形变避让槽内设置有柔性机构，柔性机构一端与柔性机构形变避让槽的壁面相连，相对的另一端设置有惯性块（3-5）；柔性机构内部具有空腔并安装有压电堆叠（3-2）；压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动惯性块产生水平方向的位移； 所述的基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台的驱动方法包括如下步骤： 1）底座组件下表面与光学隔振平台接触并固定，驱动目标物体设置在承载座的上表面上； 2）规定向右运动时为正方向，规定施加正电压为施加正向直流电，施加负电压为施加反向直流电； 正向驱动时，对电磁驱动组件通入反向直流电，由于磁铁单元固定于底座组件之上，故其受到的向左的力F m将被底座的反作用力抵消，线圈单元将受到向右的力F c，并带动滑块产生向右运动的趋势；此时压电驱动组件通入占空比为0%~10%的锯齿波；当电压快速升高时，压电堆叠快速伸长并带动柔性机构产生形变，惯性块的惯性力F P1将作用于滑块，此时惯性力F P1的方向向右；当电压缓慢降低时，压电堆叠缓慢收缩，惯性块的惯性力F p2将作用于滑块，此时惯性力F p2的方向向左；由于电压非对称占空比变化的差异将导致惯性力F P1大于F P2；将滑块与导轨之间摩擦力用F f 标定，在电压快速升高时，滑块受到的合力F T=F c+F P1-F f ；在电压缓慢降低时，滑块受到的合力为F T=F c-F P2-F f ；通过控制电磁驱动组件与压电驱动组件的电信号从而实现复合定位台的正向驱动，并且可以执行两种模式，分别为快速驱动模式以及精密定位模式；执行快速驱动模式时，控制电信号使滑块受到的合力始终大于0；执行精密定位模式时，控制电磁驱动组件电信号使其在压电驱动组件电压缓慢降低时滑块受到的合力为0，以抑制此阶段压电驱动组件独立位移时产生的位移回退，对压电驱动通入周期性锯齿波实现微进给； 反向工作时，对电磁驱动组件施加正向直流电，此时线圈单元受到向左的力F c，并带动滑块产生向左运动的趋势；对压电驱动组件施加90%~100%的锯齿波电压信号，在电压缓升高时，滑块受到的合力为F T=F c-F P2-F f ，当电压快速降低时，滑块受到的合力为F T=F c+F P1-F f ，其中，由于非对称激励信号的施加,有Fp1Fp2；与正向工作相同，反向驱动时亦可以实现快速驱动以及精密定位两种工作模式。

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