中南大学;湖南奥创普科技有限公司陈致蓬获国家专利权
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龙图腾网获悉中南大学;湖南奥创普科技有限公司申请的专利一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117115253B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311063948.7,技术领域涉及:G06T7/73;该发明授权一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统是由陈致蓬;姚至恒;沈玲;王珲荣;潘果文设计研发完成,并于2023-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统,通过预先采集完整晶圆图像和包含于晶圆中的单片基板的单片基板图像,根据完整晶圆图像,获得特征识别锚框,实时采集晶圆高分辨率图像,并基于特征识别锚框获得与晶圆高分辨率图像对应的基板轮廓图,根据基板轮廓图,拟合反映刻蚀线的网格图,根据网格图,将单片基板图像和晶圆高分辨率图像对应的晶圆灰度图进行匹配,对基板进行标记以及根据基板标记结果,对基板进行定位,解决了现有晶圆视觉定位基板精度低的技术问题,不仅可实时拟合不同晶圆刻蚀线并规划坐标,具有较强的适应能力,且定位精度高。
本发明授权一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法,其特征在于,所述方法包括: 预先采集完整晶圆图像和包含于晶圆中的单片基板的单片基板图像; 根据完整晶圆图像,获得特征识别锚框; 实时采集晶圆高分辨率图像,并基于特征识别锚框获得与晶圆高分辨率图像对应的基板轮廓图; 根据基板轮廓图,拟合反映刻蚀线的网格图; 根据网格图,将单片基板图像和晶圆高分辨率图像对应的晶圆灰度图进行匹配,对基板进行标记; 根据基板标记结果,对基板进行定位。
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