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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种半导体设备的基片盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117438359B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311395508.1，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种半导体设备的基片盘是由叶文龙;陈李松;朱勇波;张超;刘千伍;李宣伦设计研发完成，并于2023-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备的基片盘在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体设备的基片盘，包括基片盘底座和基片台；所述基片盘底座上设有旋钮定位组件，所述旋钮定位组件用于辅助基片台安装定位到基片盘底座上，并能精确旋转调整基片台在基片盘底座上的周向位置；基片台上设有基片定位件，基片定位件用于实现多种规格尺寸的基片装夹到基片台上；基片盘底座上的拉力柱与曝光室的连接装置连接，以实现基片盘底座在曝光室中夹紧。本发明具有结构紧凑、操作简单、兼容性高、定位精度高等优点，解决了现有技术中单个基片在进入曝光室后不能进行快速精准定位而导致基片曝光效率低、质量不稳定的问题，实现了基片快速精准定位和实现高质量的刻录。

本发明授权一种半导体设备的基片盘在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的基片盘，其特征在于，包括基片盘底座1和基片台5；所述基片盘底座1上设有旋钮定位组件，所述旋钮定位组件用于辅助基片台5安装固定到基片盘底座1上，并调整基片台5在基片盘底座1上的周向位置；所述基片台5上设有基片定位件，所述基片定位件用于实现多种规格尺寸的基片装夹到基片台5上；所述基片盘底座1上还设有拉力柱13，所述拉力柱13与曝光室的连接装置连接，以实现基片盘底座1在曝光室中夹紧； 所述旋钮定位组件包括均布在基片盘底座1上的旋钮组件10、第一定位柱101和第二定位柱102，所述旋钮组件10、第一定位柱101和第二定位柱102用于将基片台5限制在旋转中心；当旋钮组件10的按钮转动时，带动基片台5旋转，以实现装入基片台5中的基片与基片盘的X轴和Y轴对齐； 所述基片盘底座1上还设有压杆组件4和挡片6；多个所述挡片6均布在基片盘底座1上，用于对基片台5的外边缘进行限位，且挡片6与基片台5的外边缘存在间隙；所述压杆组件4与第二定位柱102连接，当按压压杆组件4时，第二定位柱102与基片台5脱离，转动旋钮组件10的按钮以调整基片台5的周向位置，调整到位后，松开压杆组件4，以实现基片台5夹紧在基片盘底座1上。

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