北京北方华创微电子装备有限公司刘东亮获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119144934B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311865090.6，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质是由刘东亮设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种温度控制方法、电子设备及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。所述方法包括：获取当前温度设定值；根据所述当前温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述当前温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度与所述当前温度设定值之间的温差在预定范围内；重复获取下一温度设定值，根据所述下一温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述下一温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度与所述下一温度设定值之间的温差在预定范围内的步骤，直至所述晶圆承载面达到目标温度。
本发明授权一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种温度控制方法，用于晶圆承载装置，所述晶圆承载装置的晶圆承载面包括多个温度控制区，其特征在于，所述方法包括： 获取当前温度设定值； 根据所述当前温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述当前温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度与所述当前温度设定值之间的温差在预定范围内； 重复获取下一温度设定值，根据所述下一温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述下一温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度与所述下一温度设定值之间的温差在预定范围内的步骤，直至所述晶圆承载面达到目标温度。
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