合肥英仕博精密装备有限公司魏鸣峰获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥英仕博精密装备有限公司申请的专利一种半导体刻蚀设备气体供应系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023217U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420442143.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体刻蚀设备气体供应系统是由魏鸣峰;高青;刘加琪;胡敏捷;李哲设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体刻蚀设备气体供应系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体刻蚀设备技术领域的一种半导体刻蚀设备气体供应系统，包括半导体刻蚀设备，所述半导体刻蚀设备的顶部安装有半导体刻蚀仓，所述半导体刻蚀仓的顶部安装有安装箱，所述安装箱的内部上方安装有连接管道，其结构合理，本实用新型通过设有T型槽和L型卡板，将半导体刻蚀仓与安装箱之间设置空气过滤板A，并将空气过滤板B以滑动的方式放置在T型槽内，空气过滤板C以滑动的方式推入两组L型卡板之间，使供气管道对半导体刻蚀仓内采取正常供气处理时，可由空气过滤板A、空气过滤板B和空气过滤板C进行气体过滤处理，尽量避免气体供应过程中存在杂质而影响到半导体刻蚀的情况发生。
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