北京北方华创微电子装备有限公司姚卫杰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其工艺气路结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023211U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420724356.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型半导体工艺设备及其工艺气路结构是由姚卫杰;茅兴飞;王松;徐志谦;陈国动;廖凤英;李岩;杨延铭;戴庚霖;杨纪鹏设计研发完成，并于2024-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其工艺气路结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体工艺设备及其工艺气路结构，半导体工艺设备包括电极线圈和工艺腔室，工艺气路结构包括安装件和管路组件，管路组件通过安装件连通工艺腔室，电极线圈位于管路组件和工艺腔室之间；管路组件包括连接部和管路本体，连接部位于管路本体的第一端，用于与安装件相连，管路本体与电极线圈所在平面之间具有预设夹角。由于管路本体与电极线圈所在的平面之间具有预设夹角，该夹角能够使管路本体向上抬升，从而增加管路本体与电极线圈之间的绝缘距离，提高管路本体与电极线圈之间的绝缘效果。
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