江苏实为半导体科技有限公司戴力获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏实为半导体科技有限公司申请的专利一种静电吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023251U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420865186.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种静电吸盘是由戴力;黎静;沈亚南设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电吸盘，包括静电吸盘和水道组件，所述静电吸盘包括吸盘本体，所述吸盘本体的上表面设置有加热层，吸盘本体的下端安装有支撑板；所述水道组件包括水道槽体，所述水道槽体开设于吸盘本体的底部侧壁上，所述水道槽体设置为螺旋状，所述水道槽体从靠近吸盘本体的外侧壁到吸盘本体的中心处开设而成。本实用新型通过将水道设置为螺旋状，并且水道的宽度从进水口到出水口逐渐变大，使得越接近出水口，水流速越快，该处的降温效果越好，进而解决了在水道散热过程中因水温升高导致的散热性下降的问题，因此在不增加额外结构和加工工序的情况下，改变了不同水道位置的换热能力，提高了散热的均匀性和静电吸盘的均温性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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