苏州佳智彩光电科技有限公司周铖获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佳智彩光电科技有限公司申请的专利一种载台支架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223021891U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421197769.2,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型一种载台支架是由周铖;李浪浪;王涛;张晨;葛春雷;刘智超设计研发完成,并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载台支架在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种载台支架,包括:支架本体;活动机构,其包括:设置于所述支架本体的第一支撑体、沿第一方向活动连接于所述第一支撑体的第一平台;调节机构,其包括:分别活动连接于所述第一平台和支架本体的第一调节组件、分别活动连接于所述第一平台和第二平台的第二调节组件;检测组件,其包括:设置于所述载台组件一侧的测距器、以及设置于所述载台组件上方的聚焦组件,所述聚焦组件上下活动设置于所述支架本体。本实用新型通过上述设置,能够对待测晶圆进行检测,并适应不同大小和形状的晶圆,不仅移动精度高,移动过程也不会损伤晶圆产品。
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