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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种防止抛光机供液管堵塞的装置及抛光机系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223012878U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421213082.3，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种防止抛光机供液管堵塞的装置及抛光机系统是由陈达;王维师;尹文宝;菅明辉设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种防止抛光机供液管堵塞的装置及抛光机系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种防止抛光机供液管堵塞的装置及抛光机系统，包括对抛光机进行供液的供液支路以及对供液管路进行冲洗的冲洗支路，冲洗支路与供液支路分别与供液管路的一端相连接且连通，供液管路的另一端与抛光机连接，供液支路对抛光机供给抛光液时，冲洗支路关闭，冲洗支路对供液管路冲洗时，供液支路关闭。本实用新型的有益效果是供液支路与冲洗支路不同时工作，能够防止抛光液与纯水相混合，不会影响抛光液的品质，在每隔一段时间进行抛光液换液时，供液开关装置关闭，冲洗开关装置打开，大量纯水沿着供液管路流动进入抛光机内，对抛光垫进行刷洗，同时，大量纯水对供液管路进行冲洗，避免抛光液结晶堵塞供液管路。

本实用新型一种防止抛光机供液管堵塞的装置及抛光机系统在权利要求书中公布了：1.一种防止抛光机供液管堵塞的装置，其特征在于：包括对抛光机进行供液的供液支路以及对供液管路进行冲洗的冲洗支路，所述冲洗支路与所述供液支路分别与供液管路的一端相连接且连通，所述供液管路的另一端与抛光机连接，所述供液支路对抛光机供给抛光液时，所述冲洗支路关闭，所述冲洗支路对所述供液管路冲洗时，所述供液支路关闭； 所述冲洗支路包括冲洗开关装置，所述冲洗开关装置设置在纯水供应装置与所述供液管路之间的连接管道上，控制所述纯水供应装置与所述供液管路之间的连接管道的打开与关闭； 所述供液支路包括沿着抛光液流动方向依次设置的动力装置、过滤装置和供液开关装置，所述动力装置、所述过滤装置与所述供液开关装置均设置在抛光液存储装置与所述供液管路之间的连接管道上，所述抛光液存储装置内的抛光液可在所述动力装置的作用下经过滤装置过滤后进入供液管路，所述供液开关装置控制所述抛光液存储装置与所述供液管路之间的连接管道的打开与关闭； 所述纯水供应装置包括纯水存储装置和纯水动力装置，所述纯水存储装置与所述供液管路之间通过连接管道连接，所述纯水动力装置设于所述纯水存储装置与所述供液管路之间的连接管道上； 所述动力装置、所述供液开关装置、所述冲洗开关装置分别与抛光机的控制装置连接，控制所述动力装置、所述供液开关装置与所述冲洗开关装置动作。

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