上海积塔半导体有限公司陈传昆获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种UV照射模块及UV照射系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223022532U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421402018.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种UV照射模块及UV照射系统是由陈传昆设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种UV照射模块及UV照射系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种UV照射模块及UV照射系统，其中，UV照射模块包括基板、多根UV灯管和多个UV能量感应器。UV灯管安装于基板上，并呈相互平行的阵列排布；每个UV灯管附近的基板上设置UV能量感应器。UV照射系统包括至少一个UV照射模块，还包括控制装置，其中控制装置与UV照射模块的UV能量感应器电路连接。本申请的技术方案能够用于在晶圆解胶作业过程中，对机台内的UV灯管进行实时能量检测，及时发现部分UV灯管照射功率衰减、照射能量不足的问题并有针对性地进行修理和更换，避免因少照、漏照而导致晶圆未全面解胶的作业事故。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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