江苏新顺微电子股份有限公司李明树获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种卧式LPCVD炉悬臂桨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223017040U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421648517.7，技术领域涉及：C30B31/10；该实用新型一种卧式LPCVD炉悬臂桨装置是由李明树;陆益设计研发完成，并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卧式LPCVD炉悬臂桨装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种卧式LPCVD炉悬臂桨装置，属于半导体加工设备技术领域。包括悬臂桨本体，所述悬臂桨本体一端设有石英管内腔，待扩散的硅片单元设于所述悬臂桨本体上，使得待扩散的硅片单元设于石英管内，所述悬臂桨本体上设置反应罩，所述反应罩罩设待扩散的硅片单元，所述反应罩一端设置进气旋转扇叶，另一端设置出气旋转扇叶，所述悬臂桨本体内穿设进气导管，所述进气导管进气口设于石英管外，所述进气导管出气口连接反应罩，所述进气导管和反应罩连接处与进气旋转扇叶相对应。本申请结构紧凑，气体氛围均匀，提高了硅片沉积均匀性，满足集成电路的工艺要求。
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