东莞市中镓半导体科技有限公司庄文荣获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市中镓半导体科技有限公司申请的专利气相外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223017035U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421687116.2，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型气相外延设备是由庄文荣;卢敬权;王健辉;钟增梁设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种气相外延设备，包括外延炉体，所述外延炉体内设有外延腔，所述外延腔内设有原料室、气体喷淋头以及至少一个托盘，所述原料室内设有原料舟，所述托盘设于所述气体喷淋头的下方，所述托盘用于承放用于外延生长的晶片，所述原料舟与所述气体喷淋头连通，所述气体喷淋头用于向所述晶片喷淋反应气体以在所述晶片上生长晶体外延层，所述外延炉体顶部对应所述托盘设有至少一个原位检测装置，所述原位检测装置用于对所述晶体外延层进行实时检测，所述外延炉体对应所述原位检测装置设有窗口，本实用新型通过在外延炉体上设置原位检测装置，从而实现对外延层实时在线监测，可及时获取外延层的生长信息，设计巧妙。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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