奇勗科技股份有限公司;王维新王鹏进获国家专利权
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龙图腾网获悉奇勗科技股份有限公司;王维新申请的专利超薄晶圆传送装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223023252U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421693468.9,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型超薄晶圆传送装置是由王鹏进;林政银设计研发完成,并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本超薄晶圆传送装置在说明书摘要公布了:一种超薄晶圆传送装置,包括一本体以及一底盘。该底盘位于该本体下方且具有一用于以非接触方式吸引且保持一晶圆的下表面,该下表面具有一对应该晶圆的一轮廓的保持区域,该保持区域限定出一环形边界,其中,该下表面包括多个吸引部,该吸引部沿着且靠近该环形边界设置且位于该保持区域之中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人奇勗科技股份有限公司;王维新,其通讯地址为:中国台湾新竹县竹北市东兴里十兴五街136号1楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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