吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司汝文弟获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利半导体设备的供液装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223019996U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421757342.3，技术领域涉及：F17D3/01；该实用新型半导体设备的供液装置是由汝文弟;陈婉祯设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备的供液装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体设备的供液装置。该供液装置包括供液桶、进液管路机构、供液管路机构和调压机构，进液管路机构一端与供液桶连通，另一端具有进液口；供液管路机构一端与供液桶连通，另一端具有供液口，用于向半导体设备提供药液；调压机构包括调压阀、测压器和分别与调压阀和测压器通信连接的控制器，调压阀设于供液桶与供液口之间，用于调节调压阀与供液口之间的药液压力，测压器用于检测调压阀与供液口之间的实际药液压力，控制器用于比对实际药液压力与供液口的预设药液压力，并在实际药液压力与预设药液压力不相同时调节调压阀，以使得实际药液压力与预设药液压力相同。该供液装置能有效降低供液口药液流量波动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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