深圳市星海威真空设备有限公司李永胜获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市星海威真空设备有限公司申请的专利真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223016955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421755890.2,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型真空镀膜设备是由李永胜;黄志云;苏雄宇;夏健全;何杰谋设计研发完成,并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种真空镀膜设备包括传输装置、上料装置、下料装置以及多种镀膜装置,包括但不限于金属有机化合物化学气相沉积装置、磁控溅射装置、蒸镀装置、反应等离子体沉积装置、原子层沉积装置中的一种或多种。金属有机化合物化学气相沉积装置、磁控溅射装置、蒸镀装置、反应等离子体沉积装置、原子层沉积装置围绕于传输装置的外周且沿圆周方向布置。传输装置用于向上料装置、下料装置、金属有机化合物化学气相沉积装置、磁控溅射装置、蒸镀装置、反应等离子体沉积装置以及原子层沉积装置取放物料。本申请的真空镀膜设备能够实现多功能镀膜,方便各工艺验证及批量生产。
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