浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司许伟峰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司申请的专利一种用于碳化硅行星抛光的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223012838U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421760212.5，技术领域涉及：B24B37/04；该实用新型一种用于碳化硅行星抛光的装置是由许伟峰;翟虎;刘志彪;孙金梅设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于碳化硅行星抛光的装置在说明书摘要公布了：本公开涉及半导体晶片加工，提供一种用于碳化硅行星抛光的装置，包括放置平台，放置平台上连接有升降设备，升降设备上连接有安装架，安装架上连接有驱动机构，驱动机构上连接有行星轮组，驱动机构能够驱动行星轮组，升降设备驱动安装架朝向靠近或远离放置平台的方向移动。行星轮组对碳化硅衬底进行更加均匀的抛光打磨，可使碳化硅衬底面型有效收敛，从而提升碳化硅衬底的抛光效果及加工精度。
本实用新型一种用于碳化硅行星抛光的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于碳化硅行星抛光的装置，其特征在于，包括放置平台1，所述放置平台1上连接有升降设备2，所述升降设备2上连接有安装架3，所述安装架3上连接有驱动机构4，所述驱动机构4上连接有行星轮组5，所述驱动机构4能够驱动所述行星轮组5，所述升降设备2驱动所述安装架3朝向靠近或远离所述放置平台1的方向移动； 所述行星轮组5包括太阳齿轮51、若干行星齿轮52以及外齿圈53，各所述行星齿轮52环绕设置在所述太阳齿轮51的周围，各所述行星齿轮52与所述太阳齿轮51相啮合，各所述行星齿轮52与所述外齿圈53相啮合； 所述驱动机构4包括行星传动架41、太阳轮驱动电机42和若干行星轮驱动电机43，所述太阳轮驱动电机42的输出轴与所述太阳齿轮51连接，以能够驱动所述太阳齿轮51转动，所述行星轮驱动电机43输出轴垂直固定在所述行星齿轮52的圆心处，若干所述行星齿轮52等间距设置并转动连接在所述行星传动架41上。
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