安徽威控机械设备有限责任公司高明胜获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽威控机械设备有限责任公司申请的专利一种集成式晶圆框自动清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223011341U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421748151.0,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种集成式晶圆框自动清洗机是由高明胜;夏阳;倪凯;汪冬冬设计研发完成,并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成式晶圆框自动清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种集成式晶圆框自动清洗机,包括机架、控制器、清洗架组件、清洗槽组件和上下料组件,其中,机架垂直设置在地面,机架中端表面开设有工作腔;清洗架组件设置在工作腔内侧壁;上下料组件和清洗槽组件分别设置在工作腔内底壁和工作腔内顶壁;控制器设置在机架上端表面,控制器通过高效控制总线分别与清洗架组件、清洗槽组件和上下料组件相连接,实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。由此,本实用新型相较于传统清洗池,槽式设计占地面积大幅减少,且更便于在生产线上灵活部署,其中,清洗液的使用与适时更换均通过控制器实现精准管理,确保了清洗过程的稳定性和一致性,进而显著提升了产品的清洗质量,使用效果好。
本实用新型一种集成式晶圆框自动清洗机在权利要求书中公布了:1.一种集成式晶圆框自动清洗机,其特征在于,包括机架(1)、控制器(2)、清洗架组件(3)、清洗槽组件(4)和上下料组件(5),其中, 所述机架(1)垂直设置在地面,所述机架(1)中端表面开设有工作腔(11); 所述清洗架组件(3)设置在所述工作腔(11)内侧壁; 所述上下料组件(5)和所述清洗槽组件(4)分别设置在所述工作腔(11)内底壁和所述工作腔(11)内顶壁; 所述控制器(2)设置在所述机架(1)上端表面,所述控制器(2)采用标准化接电插头无缝对接外部电源,所述控制器(2)通过高效控制总线分别与所述清洗架组件(3)、所述清洗槽组件(4)和所述上下料组件(5)相连接,实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。
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