乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利沉积膜平整度改善结构以及化学气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223016958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421775463.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型沉积膜平整度改善结构以及化学气相沉积装置是由周向阳设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积膜平整度改善结构以及化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种沉积膜平整度改善结构和化学气相沉积装置。其中，沉积膜平整度改善结构包括背板和多个输送管：背板安装于化学气相沉积装置的沉积腔的顶部，背板沿其厚度方开设有一个第一通孔和多个第二通孔，第一通孔位于背板的中心位置，多个第二通孔邻近背板的边缘均匀分布；对应第一通孔和所有的第二通孔分别设置一个输送管，第一通孔及第二通孔与对应的输送管连通，输送管远离背板的一端与气源连接。本实用新型的沉积膜平整度改善结构应用于化学气相沉积装置中，可以使衬底上的沉积膜更为平整，并且能彻底清除掉沉积室内的残膜。
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