江苏集芯先进材料有限公司朱耿直获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利承载工装及具有其的高温退火装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223017042U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421855275.9,技术领域涉及:C30B33/02;该实用新型承载工装及具有其的高温退火装置是由朱耿直;蒋玉娇设计研发完成,并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载工装及具有其的高温退火装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种承载工装及具有其的高温退火装置,承载工装包括:支架底座和封板,支架底座和封板在上下方向间隔开排布,支架底座包括中心座和多个支杆,每个支杆的一端与中心座相连,每个支杆的另一端向外水平延伸;多个导向杆和多个垫块,多个导向杆沿支架底座的周向上间隔开且竖直设置,多个导向杆与多个支杆一一对应相连,每个导向杆穿过相应的多个垫块,封板与导向杆的顶部可拆卸地相连以压紧多个垫块,每个垫块朝向支架底座中心的一侧设有放置槽,每个导向杆沿相应的支杆的长度方向上位置可调以适应不同尺寸的晶片。根据本实用新型的承载工装,不仅适用于碳化硅衬底片,还适用于籽晶片以及刻蚀片,通用性强,易于实施。
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