东莞市鼎力自动化科技有限公司李成获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市鼎力自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆片清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223011322U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421859936.5，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型一种晶圆片清洗机是由李成;姚禄华;邱立阳;赵江风;张义设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆片清洗设备技术领域，尤其涉及一种晶圆片清洗机；包括清洗装置、转运机构、收料翻转机构及烘干机构；清洗装置包括药剂清洗箱和水洗清洗箱；药剂清洗箱包括第一箱体、第二箱体、进液组件及温控组件，第一箱体设有第一容腔，第二箱体与所述第一箱体连接并围设成第二容腔，第一箱体位于第二容腔内；进液组件设于第一箱体并伸入第一容腔内；温控组件包括加热件，加热件位于第一箱体外，加热件将第一容腔和第二容腔连通；转运机构将外界料箱依次放入药剂清洗箱、水洗清洗箱，收料翻转机构用于承接来自转运机构的外界料箱并转运至烘干机构；实现对第一容腔内药液的加温目的，满足清洗的温度条件，提高生产质量的稳定性。
本实用新型一种晶圆片清洗机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片清洗机，其特征在于：包括清洗装置1、转运机构2、收料翻转机构3及烘干机构4； 所述清洗装置1包括药剂清洗箱11和水洗清洗箱12； 所述药剂清洗箱11包括第一箱体111、第二箱体112、进液组件113及温控组件，所述第一箱体111设有第一容腔1101，所述第二箱体112与所述第一箱体111连接并围设成第二容腔1102，所述第一箱体111位于第二容腔1102内； 所述进液组件113设于第一箱体111并伸入第一容腔1101内； 所述温控组件包括加热件1141，所述加热件1141位于第一箱体111外，所述加热件1141将第一容腔1101和第二容腔1102连通； 所述转运机构2将外界料箱100依次放入药剂清洗箱11、水洗清洗箱12，所述收料翻转机构3用于承接来自转运机构2的外界料箱100并转运至烘干机构4。
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