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吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司周智鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种晶圆加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223023220U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421870178.7,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆加工设备是由周智鹏;张鹏飞;高玉欢设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆加工设备。该晶圆加工设备包括:晶圆进出装置,用于输出或接收晶圆;磨削减薄装置,与晶圆进出装置沿第一水平方向间隔布设;抛光装置,布置在晶圆进出装置与磨削减薄装置之间;及转移装置,包括转移机械手,转移机械手可受控地沿第一水平方向移动,以将晶圆在晶圆进出装置、磨削减薄装置和所述抛光装置之间转移;其中,磨削减薄装置包括搬运机械手、清洗机构及磨削减薄机构,清洗机构用于对晶圆的背面进行清洗,磨削减薄机构用于对晶圆的背面进行磨削减薄,搬运机械手用于拾取由转移装置转移的晶圆,并将拾取的晶圆在清洗机构和磨削减薄机构之间转移,且将完成磨削加工和清洗的晶圆转移至转移装置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司,其通讯地址为:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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