江苏林洋太阳能有限公司沈东东获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏林洋太阳能有限公司申请的专利一种湿刻机的槽盖结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023223U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421922530.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种湿刻机的槽盖结构是由沈东东;施毅;杜哲仁;季根华;陆俊宇;齐琦;黄沈虎设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种湿刻机的槽盖结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了湿刻机的槽盖结构，其包括翻转轴、盖本体，其中翻转轴的上下部形成安装面，盖本体包括上盖板、下盖板和端封板，其中翻转轴、上下盖板构成闭合的腔体，且自翻转轴上形成与腔体连通的介质进出流道；上盖板的上表面具自上而下的倾斜面，且倾斜面上还形成有自顶部向内凹陷的沟槽。本实用新型一方面基于腔体的形成和介质流动，以实现槽盖内部温度的控制，尤其是减少因为冷凝现象而产生的滴液；另一方面上盖的上表面倾斜并配有沟槽，进而将可能滴落至上盖板的碱液引流至排液槽，避免槽盖表面形成大面积的白色脏污，改善机台洁净程度，同时通过增加槽盖和翻转轴的接触面积，以增加槽盖和翻转轴连接的牢固度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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