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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种工艺腔的动态配置方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119105417B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411159854.4，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权一种工艺腔的动态配置方法是由杜永超;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺腔的动态配置方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种工艺腔的动态配置方法，S1：建立ECS系统架构；S2：建立硬件描述文件；S3：基于硬件描述文件建立若干子硬件描述文件，每个子硬件描述文件用于定义一种工艺腔的配置方案；S4：匹配工艺腔与传输腔；S5：用户判断添加了位置配置结果的子硬件描述文件是否满足工艺腔配置需求，若满足，则在ECS系统架构下，基于该子硬件描述文件对工艺腔进行配置；否则，用户可修改该子硬件描述文件，得到新的子硬件描述文件，并基于新的子硬件描述文件配置工艺腔。本发明使得用户只需在UI配置界面根据加工需求进行相应的工艺腔配置设置，即可完成对机台设备的调整，降低了操作难度，且操作过程简便，无需在硬件和软件上频繁变更，保证系统的稳定性。

本发明授权一种工艺腔的动态配置方法在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔的动态配置方法，其特征在于，具体步骤包括： S1：根据晶圆加工的实际需求建立ECS系统架构； S2：建立硬件描述文件，所述硬件描述文件包括： 硬件配置描述信息，所述硬件配置描述信息包括工艺腔加工所需的硬件信息； UI配置描述信息，所述UI配置描述信息包括需要在UI配置界面显示的硬件类型和控制信息； 互锁配置描述信息，所述互锁配置描述信息包括对加工工艺腔的硬件之间以及控制加工的程序之间的互锁关系的描述； 工艺配方描述信息，所述工艺配方描述信息包括工艺腔加工晶圆的加工流程以及加工过程中所需要的具体参数数据； S3：基于所述硬件描述文件建立若干子硬件描述文件，所述子硬件描述文件用于定义一种工艺腔的配置方案； S4：基于用户在UI配置界面根据加工需求为传输腔的不同工艺位置设定的工艺腔类型，从而得到添加了位置配置结果的子硬件描述文件，基于所述添加了位置配置结果的子硬件描述文件匹配工艺腔与传输腔； S5：用户判断添加了位置配置结果的子硬件描述文件是否满足工艺腔的配置需求，若满足，则在ECS系统架构下，基于该子硬件描述文件对工艺腔进行配置；否则，用户可根据实际工艺腔的配置需求修改该子硬件描述文件，得到新的子硬件描述文件，并在ECS系统架构下，基于新的子硬件描述文件对工艺腔进行配置。

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