芯恩(青岛)集成电路有限公司段子豪获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种半导体工艺装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023209U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422075359.7，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型一种半导体工艺装置及半导体设备是由段子豪设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体工艺装置及半导体设备，装置包括运动控制结构、位置传感器、清洁头和刮板；位置传感器与清洁头固定连接；位置传感器与清洁头、位置传感器电连接以控制清洁头的位置移动；清洁头表面有硬度大于狭缝结构内壁毛刺的清洁刷毛；刮板与清洁头固定。本实用新型通过硬度大于狭缝内壁毛刺的清洁刷毛刷断毛刺，配合刮板将刷断的毛刺刮出狭缝，在不拆除狭缝结构的前提下清理狭缝内壁的毛刺，保证狭缝出射粒子束均一性，并降低清洁毛刺的时间和复杂度，提高生产效率；同时配合运动控制结构方便清洁头出入狭缝；另外限位板限定清洁头进入狭缝深度，提高清洁效率；最后设置清洁刷毛硬度小于狭缝结构内壁，避免损伤狭缝结构内壁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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