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苏州耀德半导体有限公司赖学明获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州耀德半导体有限公司申请的专利一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223016971U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422078904.8,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器是由赖学明设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器,涉及化学反应控制技术领域。本实用新型包括反应罐,以及与反应罐适配安装的控制组件,所述反应罐包括罐体、固定于罐体周侧下部的支座、密封连接于罐体端部的罐盖、设置于罐体内部的内胆,以及穿设内胆与罐体的气体管路;所述控制组件包括与气体管路相连的缓冲仓、与缓冲仓相连的多路气体分支管道、与气体分支管道对应连接的流量控制阀、设置于罐体与内胆间隙内的加热件、设置于罐盖中部的泄压管,以及与泄压管适配安装的自动泄压阀。在罐体与内胆之间设置加热件和冷却水循环系统,实现了对反应环境温度的高度可控性,确保了反应过程中的温度均匀性和稳定性。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州耀德半导体有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区唯西路26号2号厂房101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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