先微精艺(苏州)科技有限公司王铭志获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于晶圆清洗设备的喷淋装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223011301U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422077985.X,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型适用于晶圆清洗设备的喷淋装置是由王铭志;韩之阳设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于晶圆清洗设备的喷淋装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种适用于晶圆清洗设备的喷淋装置,包括有安装基座,安装基座上设置有垂直导向组件,垂直导向组件上设置有若干限位承载组件,限位承载组件上设置有喷淋组件,喷淋组件为喷淋导向块,喷淋导向块内设置有喷射腔体,喷射腔体的尾端设有与喷射腔体导通的衔接孔,喷射腔体设有与喷射腔体导通的喷淋口,喷淋导向块上设置有束缚孔,限位承载组件与束缚孔相连。由此,垂直导向组件、安装基座可以实现便捷化且稳固的结合,能够提供有效的垂直空间支撑,且减少对空间的占用,便于晶圆清洗设备内部其他装置的布局。喷淋组件的安装数量、位置、朝向,可以根据实际需要进行便捷化的调整,拥有较佳的可调整性,能适配不同的喷淋区域覆盖需要。
本实用新型适用于晶圆清洗设备的喷淋装置在权利要求书中公布了:1.适用于晶圆清洗设备的喷淋装置,包括有安装基座,其特征在于:所述安装基座上设置有垂直导向组件,所述垂直导向组件上设置有若干限位承载组件,所述限位承载组件上设置有喷淋组件,所述喷淋组件为喷淋导向块,所述喷淋导向块内设置有喷射腔体,所述喷射腔体的尾端设有与喷射腔体导通的衔接孔,所述喷射腔体设有与喷射腔体导通的喷淋口,所述喷淋导向块上设置有束缚孔,所述限位承载组件与束缚孔相连。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人先微精艺(苏州)科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市高新区鸿禧路32号15幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。