苏州恩斯贝格精密机械有限公司蒋松杰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州恩斯贝格精密机械有限公司申请的专利一种晶圆切割环清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223011253U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422091672.X,技术领域涉及:B08B1/12;该实用新型一种晶圆切割环清洗装置是由蒋松杰;蒋志刚设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切割环清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆切割环清洗装置,包括放置平台和清洗组件,其特征在于,清洗组件包括驱动机构,往复杆,支架,滑动部,管路和清洗机构,滑动部与往复杆连接,滑动部设置在支架的导轨上,两条导轨沿放置平台长度方向设置,往复杆与驱动机构连接,往复杆与导轨平行设置,驱动机构带动往复杆往复运动,所述清洗机构与滑动部连接,清洗机构包括清洗部,连接杆和支撑杆,连接杆一端与清洗部连接,另一端与往复杆连接,清洗部朝向放置平台,清洗部与管路连通,清洗液通过管路向清洗部输送,支撑杆穿过连接杆,支撑杆两端与两个滑动部连接。本实用新型能够将多个工件放置在平台上,对工件进行反复清洗,提升清洗效果和效率。
本实用新型一种晶圆切割环清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割环清洗装置,包括放置平台和清洗组件,其特征在于,清洗组件包括驱动机构,往复杆,支架,滑动部,管路和清洗机构,滑动部与往复杆连接,滑动部设置在支架的导轨上,两条导轨沿放置平台长度方向设置,往复杆与驱动机构连接,往复杆与导轨平行设置,驱动机构带动往复杆往复运动,所述清洗机构与滑动部连接,清洗机构包括清洗部,连接杆和支撑杆,连接杆一端与清洗部连接,另一端与往复杆连接,清洗部朝向放置平台,清洗部与管路连通,清洗液通过管路向清洗部输送,支撑杆穿过连接杆,支撑杆两端与两个滑动部连接。
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