北京晶亦精微科技股份有限公司刘永进获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利晶圆暂存装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422101544.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆暂存装置是由刘永进;王利兵设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆暂存装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆暂存装置，包括暂存箱、第一升降板、第二升降板、暂存架以及晶圆吸附臂，第一升降板和第二升降板分别沿上下方向设置于暂存箱内，能够分隔暂存箱为顺次排布的储水区、浸没区以及排水区，暂存架设置于浸没区内，晶圆吸附臂设置于暂存箱的外侧；储水区内的水能够在第一升降板上移时流入浸没区以浸没晶圆，浸没区的水能够在第二升降板上移时流入排水区。本实用新型提供的晶圆暂存装置，利用第一升降板和第二升降板的升降配合实现对浸没区供水或排水的效果，使晶圆在暂存时段能够充分浸没于去离子水中，使晶圆处于充分保湿状态，避免了传统喷嘴形成的喷淋区域对晶圆覆盖不全的问题，有效地保证了晶圆的加工质量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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