苏州科昕智能科技有限公司张英军获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州科昕智能科技有限公司申请的专利一种自适应调整载板平面度的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223023245U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422115299.7,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种自适应调整载板平面度的装置是由张英军;赵志刚;杨杰;林志设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自适应调整载板平面度的装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及载板测试技术领域,具体涉及一种自适应调整载板平面度的装置,包括底板;所述底板设有驱动电机;所述驱动电机的输出端设有第一螺杆;所述第一螺杆的两端分别套设有第一螺母与第二螺母;所述第一螺母与第二螺母分别连接有第一推拉座与第二推拉座;所述第一推拉座与第二推拉座均设有下夹板与上夹板;所述第一推拉座与第二推拉座均设有夹持驱动组件。本实用新型通过夹持驱动组件驱动上夹板与下夹板夹紧,使得载板固定在第一推拉座与第二推拉座之间,驱动电机带动第一螺杆进行转动,使得第一推拉座与第二推拉座相互远离,对柔性载板进行拉伸整平;整平完成后通过外部的测试设备进行测试,从而能够有效地提高载板测量的准确性。
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