北京北方华创微电子装备有限公司李雪兵获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利载舟装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223016966U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422161738.8，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型载舟装置及半导体工艺设备是由李雪兵;朱旺平;崔伟;徐现飞设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本载舟装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种载舟装置及半导体工艺设备，其中，载舟装置包括固定座11、腔室盖20、承载件30、弹性套管40和限位机构50；承载件30的第一端穿过腔室盖20而伸至腔室盖20的外侧，并与固定座11相连，弹性套管40套设于承载件30之外，弹性套管40的第一端口和第二端口分别与腔室盖20的外侧表面和固定座11密封配合，限位机构50包括支撑轴51和关节轴承52，支撑轴51的第一端与固定座11相连，支撑轴51的第二端通过关节轴承52与腔室盖20活动相连。此方案能避免弹性套管被腔室盖压溃而导致无法施力的情况出现。
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