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龙图腾网获悉上海感图网络科技有限公司申请的专利晶圆背面缺陷检测的映射方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119152000B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411195944.9，技术领域涉及：G06T7/33；该发明授权晶圆背面缺陷检测的映射方法、装置、设备及存储介质是由侯晓峰;朱磊;张弛设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆背面缺陷检测的映射方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开晶圆背面缺陷检测的映射方法、装置、设备及存储介质，涉及AOI图像检测领域，获取晶圆正面对位信息并采集晶圆正面图像，根据识别的晶圆正面圆心和凹槽建立正面坐标系；将晶圆镜像翻转，基于晶圆正面坐标系与背面坐标系的镜像关系确定晶圆的背面标准对位信息并进行对位；获取晶圆背面图像并进行缺陷识别，确定背面缺陷点的背面坐标信息，根据背面正面坐标系的映射关系确定背面缺陷点映射在正面的正面映射坐标。该方案可以对晶圆背面缺陷进行检测，将其映射到正面芯片上，实现快速缺陷检测，相比于直接拍摄两张图像后融合匹配的方法，检测效率更高。

本发明授权晶圆背面缺陷检测的映射方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面缺陷检测的映射方法，其特征在于，所述方法包括：将晶圆正面朝上放置到对位机构中进行旋转调整，检测并确定晶圆上的notch凹槽位置；确定所述凹槽与基准对位件之间的相对位置关系，并基于相对位置关系确定出正面对位信息；通过图像采集设备拍摄晶圆正面图像，根据所述正面图像中识别的晶圆正面圆心和凹槽建立正面坐标系；所述基准对位件独立于控制晶圆旋转的转台，且晶圆正面朝上拍摄时凹槽处于随机位置；将晶圆镜像翻转后，基于图像采集设备确定晶圆背面状态下凹槽的目标位置，基于目标位置下晶圆背面坐标系与正面坐标系镜像关系，以及与正面对位信息的映射关系，计算晶圆调整至目标位置时，凹槽与基准对位件之间的相对位置变化量，将其确定为背面标准对位信息，并根据所述背面标准对位信息对晶圆背面进行对位；其中，相对位置变化量包含目标位置和当前位置下，基准对位件与晶圆圆心和凹槽的连线距离及夹角差值；转台根据连线距离及夹角差值控制晶圆旋转至目标位置；获取背面对位后的晶圆背面图像并进行缺陷识别，确定晶圆背面缺陷点的背面坐标信息，并根据背面坐标系与正面坐标系的映射关系确定所述背面缺陷点映射在晶圆正面的正面映射坐标。

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