威讯联合半导体(德州)有限公司殷坤获国家专利权
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龙图腾网获悉威讯联合半导体(德州)有限公司申请的专利晶圆加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223006743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422130962.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型晶圆加工设备是由殷坤;左瑞;任学亭;崔建波;杨怀维设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工技术领域,公开一种晶圆加工设备。其中晶圆加工设备包括切割装置和操作台,切割装置用于对晶圆进行切割,晶圆设置有特征码粘贴位;操作台上设置有第一承载治具和第二承载治具,第一承载治用于承载切割前的晶圆,第二承载治用于承载切割后的晶圆,第一承载治具设置有承载晶圆的第一承托面,第二承载治具设置有承载晶圆的第二承托面,第一承托面的面积大于第二承托面的面积,第二承托面设置于特征码粘贴位的下方。本实用新型减少书写晶圆ID还是粘贴标签的操作对晶圆造成的损伤,同时信息传递过程更加可靠,人员操作更加省力。
本实用新型晶圆加工设备在权利要求书中公布了:1.晶圆加工设备,其特征在于,包括:切割装置,用于对晶圆进行切割,所述晶圆设置有特征码粘贴位;操作台100,所述操作台100上设置有第一承载治具110和第二承载治具120,所述第一承载治用于承载切割前的所述晶圆,所述第二承载治用于承载切割后的所述晶圆,所述第一承载治具110设置有承载所述晶圆的第一承托面111,所述第二承载治具120设置有承载所述晶圆的第二承托面121,所述第一承托面111的面积大于所述第二承托面121的面积,所述第二承托面121设置于所述特征码粘贴位的下方。
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