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浙江中科尚弘离子装备工程有限公司苏凯获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种用于离子注入机的离子源配接机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223006732U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422145709.2,技术领域涉及:H01J37/317;该实用新型一种用于离子注入机的离子源配接机构是由苏凯;李烨;龚再生;单洪豪设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于离子注入机的离子源配接机构在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种用于离子注入机的离子源配接机构,其包括承载装配组件、转接支托组件、运行温控组件、气源转接组件、配接操作组件及配接导向组件,该离子源配接机构设置的配接操作组件和配接导向组件使得整个装置的安装和拆卸变得简单快捷,便于日常维护和检修,运行温控组件能够有效地控制起弧腔的工作温度,保证了离子源工作的稳定性和可靠性,配接导向组件中的外部导筒和配接内筒分别与外部导杆和内部导块配合,为承载基板及支托管壳的配接或拆离操作提供了精确的导向和定位,避免操作过程中发生偏差和损坏,在提升其装配精度的同时,提高离子注入操作的精确度。

本实用新型一种用于离子注入机的离子源配接机构在权利要求书中公布了:1.一种用于离子注入机的离子源配接机构,其特征在于,包括:承载装配组件,该承载装配组件与离子注入机的机体形状适配,其内部具有装配空间,可通过连接件安装于机体中;转接支托组件,该转接支托组件安装于承载装配组件中,并与离子注入机的机体形状适配,可随承载装配组件一同安装于机体中,并嵌入机体内部,转接支托组件中具有设置离子源起弧腔的装配空间,使起弧腔随转接支托组件一同嵌入机体内部;运行温控组件,该运行温控组件安装于转接支托组件中,其与起弧腔位置对应,并与换热液供应设备连通,由换热液供应设备向运行温控组件输送换热液,使其对起弧腔的运行温度进行调控;气源转接组件,该气源转接组件安装于承载装配组件中,其与转接支托组件配合,并与起弧腔及离子源气体供应设备连通,离子源气体供应设备通过气源转接组件向起弧腔中输送离子源气体;配接操作组件,该配接操作组件安装于承载装配组件中,可通过配接操作组件对承载装配组件及转接支托组件在机体中进行配接或拆离操作;配接导向组件,该配接导向组件安装于承载装配组件及配接操作组件中,可对承载装配组件及转接支托组件在机体中的配接或拆离操作过程进行导向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江中科尚弘离子装备工程有限公司,其通讯地址为:314100 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道嘉年路95号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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