安徽微迈思科技有限公司陈景升获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽微迈思科技有限公司申请的专利一种改进型线源蒸镀坩埚获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223003010U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422230245.5，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种改进型线源蒸镀坩埚是由陈景升;陈榆;孟祥好设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改进型线源蒸镀坩埚在说明书摘要公布了：本申请公开了一种改进型线源蒸镀坩埚，通过在线源坩埚盖的喷嘴上设置的角度套件，使得与基板边沿对应的线源坩埚盖上最外两侧的角度套件一的倾斜开口朝向基板中部设置，使得当使用该线源蒸镀坩埚对基板进行蒸镀时，坩埚本体内的蒸镀材料加热到熔化挥发时，从角度套件一顶部的倾斜开口处逸散出去的蒸镀材料，由于角度套件一顶部倾斜开口朝向基板的中部倾斜设置，进而使得蒸镀材料的蒸镀角也会相应地朝向基板的中部倾斜，从而使得蒸镀材料能够更加充分地蒸镀到基板的边沿部，并且能够减少部分的蒸镀材料浪费，减低蒸镀成本。
本实用新型一种改进型线源蒸镀坩埚在权利要求书中公布了：1.一种改进型线源蒸镀坩埚，包括坩埚主体1、线源坩埚盖2和角度套件3，所述坩埚主体1的顶部设置有线源坩埚盖2，所述线源坩埚盖2上沿其长度方向设置有多个喷嘴4，其特征在于，每个所述喷嘴4上均套设有角度套件3，所述角度套件3的中部通道与所述喷嘴4相连通且两者的内侧壁相对齐，所述线源坩埚盖2上位于最外两侧的所述喷嘴4上的所述角度套件3为角度套件一31，所述角度套件一31的顶部开口所在平面与水平方向倾斜设置且两者形成夹角α，所述线源坩埚盖2上位于中间的所述喷嘴4上的所述角度套件3为角度套件二32，所述角度套件二32的顶部开口所在平面为水平方向，所述线源坩埚盖2上位于最外侧与中间之间的所述喷嘴4上的所述角度套件3为角度套件三33，所述角度套件三33的顶部开口所在平面与水平方向倾斜设置且两者形成夹角β，且所述角度套件一31和所述角度套件三33的倾斜平面均朝向基板中部设置。
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