安徽国芯光刻技术有限公司王运钢获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽国芯光刻技术有限公司申请的专利一种光刻机定位吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006382U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422251767.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机定位吸盘是由王运钢;章广飞;薛业保设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机定位吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光刻机定位吸盘，包括多个自内向外相互套设在吸盘本体顶端上的安装环、以及设置在吸盘本体上并与安装环连接的抽气装置，安装环远离吸盘本体一端端面上呈圆周阵列开设有多个吸附孔，吸盘本体顶端端面开设有多个分别与多个安装环相匹配的安装槽，且安装槽底壁开设有与吸盘本体内部贯通的卡孔；抽气装置包括设置在安装环底端端面上并与卡孔相匹配的卡管、设置在吸盘本体内对多个卡孔进行密封的密封组件、设置在吸盘本体内并控制多个卡孔逐个自轴线方向向吸盘本体侧面方向与吸盘本体内部贯通的控制组件、以及与吸盘本体内部腔体连接的抽气组件；本实用新型可以便捷地对不同大小尺寸硅片进行定位吸附，提高了对硅片的定位吸附效果。
本实用新型一种光刻机定位吸盘在权利要求书中公布了：1.一种光刻机定位吸盘，包括吸盘本体1、多个自内向外相互套设在吸盘本体1顶端端面上的安装环3、以及设置在吸盘本体1上并与安装环3连接的抽气装置，安装环3远离吸盘本体1一端端面上呈圆周阵列开设有多个吸附孔4，其特征在于，吸盘本体1顶端端面开设有多个分别与多个安装环3相匹配的安装槽2，且安装槽2底壁开设有与吸盘本体1内部贯通的卡孔5；抽气装置包括设置在安装环3底端端面上并与卡孔5相匹配的卡管6、设置在吸盘本体1内对多个卡孔5进行密封的密封组件、设置在吸盘本体1内并控制多个卡孔5逐个自轴线方向向吸盘本体1侧面方向与吸盘本体1内部贯通的控制组件、以及与吸盘本体1内部腔体连接的抽气组件。
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