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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种腔室漏率检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223005685U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422259184.5，技术领域涉及：G01M3/26；该实用新型一种腔室漏率检测装置是由曾虹钧设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种腔室漏率检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室漏率检测装置，其中漏率标定模块用于获取第一漏率标定值和多个第二漏率标定值；门阀检测模块用于检测并生成每个门阀的状态信号；漏率检测模块用于在各门阀均为关闭的情况下确定第一腔室的当前氧气浓度与第一漏率标定值的第一比较结果，以及在存在任一门阀为开启的情况下第一腔室的当前氧气浓度与目标第二漏率标定值的第二比较结果；告警模块用于基于第一比较结果和第二比较结果确定第一腔室和多个第二腔室的泄漏情况，并生成告警信息，本实用新型能够实现实时监测腔室的外漏和内漏现象，确保腔室安全及工艺结果。

本实用新型一种腔室漏率检测装置在权利要求书中公布了：1.一种腔室漏率检测装置，其特征在于，适用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括第一腔室和多个第二腔室；每个所述第二腔室与所述第一腔室均通过相应的门阀连接，各所述第二腔室之间相互独立；所述腔室漏率检测装置包括漏率标定模块100、门阀检测模块200、漏率检测模块300和告警模块400：所述漏率标定模块100用于获取第一漏率标定值和多个第二漏率标定值；所述门阀检测模块200与各所述门阀电连接，用于检测并生成每个所述门阀的状态信号，并将所述状态信号发送给所述漏率检测模块300；所述漏率检测模块300分别与所述漏率标定模块100和所述门阀检测模块200电连接，用于在基于各所述门阀的状态信号确定各所述门阀均为关闭的情况下，确定所述第一腔室的当前氧气浓度与所述第一漏率标定值的第一比较结果；以及在基于各所述门阀的状态信号确定存在任一所述门阀为开启的情况下，确定所述第一腔室的当前氧气浓度与目标第二漏率标定值的第二比较结果；所述目标第二漏率标定值为开启的门阀连接的目标第二腔室对应的第二漏率值；所述告警模块400与所述漏率检测模块300电连接，用于基于所述第一比较结果和所述第二比较结果确定所述第一腔室和所述多个第二腔室的泄漏情况，并生成告警信息。

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