天津派森新材料技术有限责任公司梁珂获国家专利权
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龙图腾网获悉天津派森新材料技术有限责任公司申请的专利一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119162578B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411284875.9，技术领域涉及：C23F3/04；该发明授权一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用是由梁珂;徐锋;王宏宇;殷华设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用在说明书摘要公布了：本发明属于化学机械抛光技术领域，具体涉及一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用。本发明提供的化学机械抛光组合物能够有效的进行铜的化学机械抛光，简化抛光工艺、提高产能。所述化学机械抛光组合物包括研磨颗粒、第一腐蚀抑制剂、第二腐蚀抑制剂、络合剂、表面活性剂、pH调节剂、氧化剂和溶剂，其中第一腐蚀抑制剂的结构式如式I所示，并且第二腐蚀抑制剂的结构式如式II所示。
本发明授权一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光组合物，其特征在于，所述化学机械抛光组合物包括研磨颗粒、第一腐蚀抑制剂、第二腐蚀抑制剂、络合剂、表面活性剂、pH调节剂、氧化剂和溶剂，所述第一腐蚀抑制剂选自以下结构： 和所述第二腐蚀抑制剂选自以下结构： 基于所述化学机械抛光组合物的总重量，所述第一腐蚀抑制剂和所述第二腐蚀抑制剂的总含量为0.01wt％-3wt％；第一腐蚀抑制剂和所述第二腐蚀抑制剂的重量比为1:0.5-2；所述溶剂包含第一组分和第二组分，其中所述第一组分为水，所述第二组分为有机溶剂；所述第二组分选自正丁醇、乙二醇和丙三醇；基于所述化学机械抛光组合物的总重量，所述第二组分的含量为30-70wt％；所述络合剂选自甘氨酸。
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