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中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院任玲玲获国家专利权

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龙图腾网获悉中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院申请的专利一种薄膜材料相变温度测量的热电偶测温位移装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119147110B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411323914.1,技术领域涉及:G01K1/14;该发明授权一种薄膜材料相变温度测量的热电偶测温位移装置是由任玲玲;李硕;金森林;李孟莲;贺建芸设计研发完成,并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种薄膜材料相变温度测量的热电偶测温位移装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种薄膜材料相变温度测量的热电偶测温位移装置,属于半导体薄膜热性能检测领域,包括腔体、测温装置和位移装置;位移装置设置在腔体的下方,测温装置设置在腔体的内部底侧,腔室的内部还设置有样品台,位移装置靠近腔体的顶端安装有加热冷却装置,测温装置由热电偶、热电偶固定套管、热电偶夹具和热电偶垂直位移平台构成,热电偶的一端安装在热电偶固定套管上,热电偶固定套管远离热电偶的一侧通过热电偶夹具固定在热电偶垂直位移平台上;本发明通过使用测温装置解决了现有的测温方式误差较大的问题。

本发明授权一种薄膜材料相变温度测量的热电偶测温位移装置在权利要求书中公布了:1.一种薄膜材料相变温度测量的热电偶测温位移装置,其特征在于:包括底座、腔体、测温装置和位移装置;所述腔体安装在所述底座的上表面,所述位移装置设置在所述腔体的下方,所述测温装置设置在所述腔体的内部底侧,所述腔体的内部还设置有样品台,所述位移装置靠近所述腔体的顶端安装有加热冷却装置,所述测温装置由热电偶、热电偶固定套管、热电偶夹具、热电偶垂直位移平台和垂直位移控制器构成,所述热电偶的一端安装在所述热电偶固定套管上,所述热电偶固定套管远离所述热电偶的一侧通过所述热电偶夹具固定在所述热电偶垂直位移平台上,所述垂直位移控制器与所述热电偶垂直位移平台相连;所述腔体的外侧设置有密封接口,所述密封接口上安装有所述垂直位移控制器,所述热电偶垂直位移平台通过所述垂直位移控制器控制所述热电偶夹具垂直移动,从而带动所述热电偶垂直移动;所述腔体包括快关门、腔体外壳、主观察窗、侧观察窗;所述快关门设置在所述腔体外壳的一侧,所述主观察窗设置在所述腔体外壳上,且与所述快关门垂直设置,所述侧观察窗也设置在所述腔体外壳上,与所述主观察窗呈45°,且与所述快关门呈135°;所述快关门的中心位置也设置有观察窗;所述样品台设置在所述加热冷却装置的正上方;所述热电偶远离所述热电偶固定套管的一端设置在所述样品台的正中心。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北三环东路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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