波米科技有限公司唐衍超获国家专利权
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龙图腾网获悉波米科技有限公司申请的专利一种树脂组合物及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119376185B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411505139.1,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种树脂组合物及其应用是由唐衍超;张翠红;李铭新;王珂设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种树脂组合物及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种树脂组合物及其应用,其包含碱溶性树脂a和碱溶性树脂b,碱溶性树脂b包括含有酚羟基的聚酰亚胺、含有酚羟基的聚苯并恶唑前体、含有酚羟基的聚苯乙烯衍生物、含有酚羟基的酚醛树脂中的至少一种,其中,这些聚合物中的至少一部分酚羟基被叔丁羰基氧基取代。本发明树脂组合物中引入了碱溶性树脂b,叔丁羰基氧基改性了其中的酚羟基,提高了树脂的透光性能,进而在曝光显影过程中具有更高的感光度和更好的耐碱性,提高了感光性树脂组合物的光刻性能。
本发明授权一种树脂组合物及其应用在权利要求书中公布了:1.一种树脂组合物,其特征是包括:碱溶性树脂a:包括聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体中的至少一种,或者是它们的共聚物中的至少一种;碱溶性树脂b:为含有酚羟基的聚苯乙烯衍生物中的至少一种,其中,聚苯乙烯衍生物中的至少一部分酚羟基被叔丁羰基氧基取代,酚羟基的取代率大于等于50%;碱溶性树脂a与碱溶性树脂b的质量比为1-3:1。
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