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龙图腾网恭喜上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利具有异常监控的工艺进流系统、监控方法及工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120007962B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510481846.X，技术领域涉及：F17D1/04；该发明授权具有异常监控的工艺进流系统、监控方法及工艺设备是由沈康;涂乐义;梁洁;王兆祥;周正;桂智谦设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有异常监控的工艺进流系统、监控方法及工艺设备在说明书摘要公布了：本公开涉及半导体处理技术领域，提供具有异常监控的工艺进流系统、监控方法及工艺设备。系统包括第一和第二管路单元、控制单元和监控单元，第一管路和第二管路分别设置管路阀、质量流量控制器及流量监测器。工艺进流系统执行预设工艺流程中的进流。监控单元基于质量流量控制器及流量监测器的流量信号的时序分布情况、波动幅值的分析确定成核工艺步骤和主沉积步骤中的进流异常。由此，实现对异常情况的及时监控，提升工艺可靠性及产品良率。

本发明授权具有异常监控的工艺进流系统、监控方法及工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种具有异常监控的工艺进流系统，其特征在于，包括：第一管路单元，包括用于向反应腔输送第一还原流体的第一管路；所述第一管路从输入端至输出端依次设置有第一质量流量控制器、第一管路阀及第一流量监测器；第二管路单元，包括用于向反应腔输送供与所述第一还原流体反应以形成薄膜沉积的沉积反应流体；第二管路从输入端向输出端依次设置有第二质量流量控制器、第二管路阀及第二流量监测器；控制单元，用于控制预设工艺流程中的进流，所述预设工艺流程包括沉积流程，所述沉积流程包括循环执行的成核工艺步骤，在每个所述成核工艺步骤中，第一管路单元及第二管路单元之间交替地执行第一还原流体和沉积反应流体对反应腔的脉冲式的进流动作；监控单元，与所述第一质量流量控制器、第一流量监测器、第二质量流量控制器、第二流量监测器通信连接，用于执行以下监测方式：在循环执行的成核工艺步骤中，从第一质量流量控制器和第二质量流量控制器所感测的实际流量的流量信号中分别识别与脉冲式的进流动作的流量变化特征相符的第一流量特征曲线波形和第二流量特征曲线波形；根据第一流量特征曲线波形及第二流量特征曲线波形的时序分布确定是否存在进流异常；在循环执行的成核工艺步骤中，从所述第一流量监测器和第二流量监测器所监测的进入反应腔流量的流量信号中识别对应第一还原流体的脉冲式进流动作的第一流量脉冲、及对应第一还原流体的脉冲式进流动作的第二流量脉冲，根据第一流量脉冲和第二流量脉冲的时序分布确定是否存在进流异常；在所述沉积流程中，根据进流的流体所在管路的质量流量控制器和或流量监测器所得到的流量信号的波动幅值的稳定性，确定是否存在对应流体的进流异常。

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